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潔凈室氣密測試進行檢測的步驟描述

潔凈室氣密測試進行檢測的步驟描述

日期:2026-03-10 20:14
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摘要:
潔凈室氣密測試進行檢測的步驟:

    1.將所測潔凈室的溫度控制在設計范圍內并保持穩定,記錄壓力衰減測試過程中室內溫度的變化(溫度計或溫度傳感器的*小示值不宜大于0.1℃)。 

    2.關閉所測潔凈室圍護結構上的門、傳遞窗等,關閉回風管(或排風管)上的氣密閥門,不得在風口上加其他密封措施,并維持各種孔洞縫隙的密封現狀。

    3.開啟送風,使室內壓力上升至已商定的測試壓力(壓力計量程至少為測試壓力的1.5倍,*小示值不宜大于10Pa),壓力穩定后,停止送風,關閉送風閥門。

    4.或反之關閉送風管上的閥門,如果送風管上無閥或閥不嚴,應在送風口上用塑料膜加盲板的方法封住風口,開啟排風,使室內壓力下降至已商定的測試壓力,壓力穩定后,停止排風,關閉排風氣密閥門。

    5.從停上送(排)風起,記錄壓力隨時間衰減的數據,每1min記錄1次壓差和溫度,連續記錄至室內壓力下降至初始壓力的一半時止。

    6.測試結束后慢慢打開風閥,使房間壓力恢復到正常狀態。

    7.如果需要進行重復測試,20min后進行。

    8.當不用風機時也可用空氣壓縮機或真空泵。

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